感知“利”器：基于MEMS工艺的细胞微阵列

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感知“利”器：基于MEMS工艺的细胞微阵列

本文摘要：目前，细胞与衬底之间的相互作用在生物与化学界引发了极大的注目。对于生物传感、植入式生物材料以及的组织工程领域而言，如何掌控细胞在特定的区域粘附是急需解决的一个问题。具备纳米粗糙度的表面结构（比如纳米针、纳米凸起以及纳米孔等）对细胞有粘附起到，这些纳米结构早已可以通过一系列方法构建，还包括纳米压印、电子束纳米光刻以及塑料等方法。当前以MEMS为基础的细胞微阵列芯片受到科研人员普遍推崇。

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目前，细胞与衬底之间的相互作用在生物与化学界引发了极大的注目。对于生物传感、植入式生物材料以及的组织工程领域而言，如何掌控细胞在特定的区域粘附是急需解决的一个问题。具备纳米粗糙度的表面结构（比如纳米针、纳米凸起以及纳米孔等）对细胞有粘附起到，这些纳米结构早已可以通过一系列方法构建，还包括纳米压印、电子束纳米光刻以及塑料等方法。

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当前以MEMS为基础的细胞微阵列芯片受到科研人员普遍推崇。通过微加工技术在基底上建构微尺度的图形结构，并通过物理化学标记对表面展开改性，使得细胞在特定区域构建选择性粘附，从而构成有序的细胞微阵列。

在细胞微阵列芯片上通过对培育环境的掌控或者对粘附区域的特定设计，分析细胞的生长不道德变化及涉及成分的转变，可展开对细胞分化、转染、细胞间通讯等生物学和基因组文库检验、药物检验等医学研究。与荧光分析手段和计算出来图像处理技术相结合，二维平面的细胞阵列芯片具备便利探讨、高通量检验和较慢数据处理的优点，提升了实验效率；同时构建了实验平台的小型化，有效地减少了科研成本。

【引荐发明专利】《基于MEMS工艺的细胞微阵列及其制作方法》【发明者内容】为了解决生物学上的药物检验等传统实验分析方法具备必须大数量的样本以及无法展开动态分析的缺点，本发明获取了一种基于MEMS工艺的细胞微阵列结构制取方法，该方法的主要步骤还包括：在硅衬底上表面复涂抹光刻胶，光刻并底片构成图形化阵列结构；使用DRIE光刻工艺在硅衬底上构成硅微纳米线；展开热氧化，构成氧化硅层。本发明细胞微阵列槽型（左）和柱形（右）结构示意图本发明使用工艺成熟期的MEMS技术，构建简陋较慢地制取有所不同的微阵列结构，微阵列结构制作已完成后，划片获得所须要大小的微阵列芯片，将微阵列芯片放进细胞培养液中展开细胞粘附培育，细胞不会自动黏附生长在经过处置的超强亲水纳米氧化硅区域，最后获得所设计的定点高效率的细胞微阵列结构。

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